產 品 說 明
晶圓貼膜機 (Wafer Mounter)性能及特點:
切割制程用 For dicing processes
迅速的將晶圓貼在有膠膜的框架上,適合所有的切割框架,有效的切割及減少對框架傷害的特殊設計
For rapid mounting of dicing frames, wafers and film. Suitable for all types of
dicing frames ,specially-designed cutters cut the film efficiently with minimal
damage to dicing frames
規格 Specification
型號 AV-WM106 AV-WM108 AV-WM112
晶圓尺寸(最大) 150mm 200mm 300mm
膠膜寬度(最大) 230mm 300mm 400mm
尺寸LxDxH(mm) 850x410x325 850x410x325 950x510x325
重 量 45KG 55KG 60KG
標準配置 鍍PFA真空工作盤,加熱工作盤
選用配置 非接觸工作盤、ESD裝置、膠膜隔離層回卷裝置