全自動晶圓擴膜機產品說明
AWE系列是專門用于晶圓、LED等切割后的擴膜工序,配備PLC和觸摸屏控制系統,可均勻的擴張晶粒之間的間距。
產品特點:
1.擴膜的高度和速度可直接在觸摸屏上設定;
2.工作盤具有加熱功能,有助于膜的延伸性;
3.調整工作盤上升的高度,即可調整晶粒之間的間距;
4.急停開關;當設備出現緊急情況下,按此按鈕;
5.電源開關:按下“O”關閉電源,按下“-”開啟電源;
6.復位鍵;開機后,必須先按復位鍵,使設備各軸處于原點位置;
7.啟動鍵:全自動模式的啟動鍵,與觸摸屏全自動模式下的啟動鍵作用一樣,圓周刀自動圓切;
8.溫控器:用于設定臺盤加熱溫度;
9.觸摸顯示屏,用于操作機器的顯示屏
10.每小時產能: 60-90 片
11.精度:同心圓±2MM
12.上蓋板下翻后自動鎖緊